超深度表面形状測定ができるレーザ顕微鏡です。レーザ光による共焦点光学により3D画像を構築します。
倍率はモニタ上で200倍、400倍、1000倍、3000倍 で最小読取は0.01μです。
形状解析、画像連結ができます。ステージは電動ですが手動による操作可能です。
| レーザ光源 | 波長 408nm（バイオレット）、 出力 0.9mW クラス2 |
|---|---|
| 対物レンズ | CF Plan10x 20x 50x 150 (モニタ上倍率200倍、400倍、1000倍、3000倍) |
| 測定範囲 | 縦 105μm ～ 1109μm、横 139μm ～ 1479μm 高さ 7mm |
| 最小分解能 | 0.01μm |
| 架台 | 粗微動共軸ハンドル |
| 主な機能 | 3次元カラー表示機能、寸法測定、粗さ測定、粒子解析、画像連結機能 |
| ステージ | 電動XYステージ、回転テーブル |